簡稱“vlsi電路”。指幾毫米見方的硅片上集成上萬至百萬晶體管、線寬在1微米以下的集成電路。由于晶體管與連線一次完成，故制作幾個至上百萬晶體管的工時和費用是等同的。大量生產時，硬件費用幾乎可不計，而取決于設計費用。國際上硅片面積已增至厘米見方，管數達十億個而線寬為0.1微米。