壓強遠小于1.01325×10^5帕的稀薄氣體空間。通常稱壓強大于1.3332×10^-1帕的低壓空間為“低{1}”，壓強為1.3332×10^-1{1}1.3332×10^-6帕的為“高{1}”，壓強小于1.3332×10^-6帕的為“超高{1}”。{1}技術廣泛應用于各種工藝過程，如顯像管的制造及有機合成等方面。電子顯微鏡、加速器等，都必須在高{1}下才能進行工作。

真空泵  高真空  真空管  真空地帶  政治真空地帶